螺桿真空泵工作原理如圖1所示。成對的自嚙合轉子與殼體形成多個封閉空間，在轉子對旋轉方向相反運動時，驅動封閉空間運動，形成抽氣、壓縮等輸運氣體過程。

 圖1 螺桿泵核心結構和工作原理

可以看出，由于轉子對、殼體之間存在間隙，螺桿泵的工作壓力、體積流率是幾何抽速與氣體通過間隙回流平衡的結果。所以其入口真空取決于節距數量、間隙控制和轉子線速度。

螺桿泵實際為多級串聯工作的轉子泵，或單頭齒輪泵的串聯，可以認為是多級直排大氣羅茨泵或者爪形泵的串聯組合，能夠實現入口高真空、排口直接排入大氣，特別是變螺距真空泵符合多級真空泵壓縮原理，可以實現大抽速、高壓縮比。螺桿泵工作時，轉子對、殼體、端面沒有機械接觸，不需要潤滑，所以可以“干式”工作。在輸運氣體過程中不會造成真空泵體內部、抽氣管線及系統、排氣管線及系統污染，但是需要對運動的齒輪、軸承、密封件等潤滑、冷卻。油封機械泵包括旋片泵、滑閥泵等，采用油來密封、潤滑轉子與殼體，采用一級或者二級就可以實現高真空，但是“油”是硬傷。

隨著現代工業及科技工程對真空系統清潔度要求越來越高，無油的螺桿泵獲得越來越多的關注和應用。我國從21世紀初開始研究螺桿真空泵，從引進、消化吸收國外技術，通過逆向工程到創新發展，已經成為無油螺桿真空泵最大的市場，也是產品供應的重要力量。

目前我國生產的螺桿真空泵大多應用于基礎工業的精細化工、石油石化等產業。半導體產業應用的螺桿真空泵，國外產品占有大部分市場份額，我國螺桿真空泵進入該市場的潛力巨大。

2.無油螺桿真空泵應用狀況 

傳統設計的螺桿真空泵（以國外進口配置為例），以吸入口真空度、體積流率、無油為重要考核指標。

從理念看，更注重半導體應用環境的清潔真空實現；從配置看，強調泵腔無油和管路的清洗保護等，適合半導體等產業需求場景。

一般螺桿真空泵的宏觀結構如圖2所示，其特點如下：

1、吸氣口在整個泵的非驅動端；軸承室采用脂潤滑；吸氣口位置沒有冷卻結構，常壓排氣。

2、排氣位置設置在驅動端，傳動系統包括齒輪、軸承等，采用油進行潤滑、冷卻等。

3、在吸入口設置沖洗系統，可以通過沖入清潔氣體對泵腔及部件清潔沖洗，特別是對系統產生的粉塵、微量液體具有很好的效果；在排氣端的動密封結構中也加入了充氣結構，氣體形成的氣障可以防止被抽氣體與潤滑系統接觸交互。

圖2  螺桿泵宏觀結構示意圖

螺桿泵的這種設計理念基于“無油”、“干式”，工作過程中保證齒輪箱中的油氣不會進入被抽系統，同時又完全保障真空泵本身潤滑、冷卻產生的蒸發物不會進入齒輪箱內，適合半導體、航天模擬、高能物理等產業和場景。

這些場景中氣體基本為干燥氣體，氣體成分恒定，與傳統螺桿真空泵的結構特點是和諧的。

但是，螺桿泵在石油化工、食品、海洋工程等基礎工業中應用場景更復雜，使用參數、性質更具離散性。主要體現在以下方面：

1、這些應用場景中氣體成分復雜，包含烷、烴、苯、醛等低鏈分子，基本是油、氣混合成分，而且從過程看大部分是處于飽和狀態的氣體，壓縮過程中容易，也必然產生凝液化、結焦。這些液體需要收集，飽和氣體需要處理才能排放，因此需要一定的壓力才能實現尾氣的輸送、回收。用于化學氣體處理的螺桿真空泵排氣壓力高、溫度高，更易發生損毀。

2、在排氣端正壓條件下，氣體會滲入齒輪箱。低鏈分子油氣與潤滑油混溶，導致潤滑油乳化變質，引起故障。

3、入口壓力具有離散性，壓力值從數十帕斯卡到數萬帕斯卡，壓縮腔內物理參量實際數值不斷變動，很難用一種固定配置模式實現最優運行。

基于以上應用場景的特殊性，如果直接采用普通設計的螺桿式真空泵，必然會導致轉子之間、轉子與泵體之間出現高溫引起的咬合，泵腔內部運動部件結焦失去安全間隙，潤滑油乳化變質造成齒輪與軸承損毀，這是工程中最常出現的問題。

浙江盛源是一家專業從事研究制造無油真空泵系列、新能源電動真空泵、空氣壓縮機設備、醫療器材、永磁伺服電機、工業投資等多元化經營的大型企業，是國家高新技術企業，浙江省級技術研究開發中心。